射频电源是可以产生固定频率的正弦波电压，频率在射频范围（约3KHz～300GHz）内、具有一定功率的电源。
射频电源已广泛应用于半导体工艺设备LED与太阳能光伏产业科学实验中的等离子体发生射频感应加热医疗美容常压等离子体消毒清洗等。
直流电源有正、负两个电极，正极的电位高，负极的电位低，当两个电极与电路连通后，能够使电路两端之间维持恒定的电位差，从而在外电路中形成由正极到负极的电流。直流电源是一种能量转换装置，它把其他形式的能量转换为电能供给电路，以维持电流的稳恒流动。
射频电源和直流电源的区别
溅射过程所用设备的区别就是电源的区别。其它都一样，就是所用电源不一样。直流运用直流电源，射频运用交流电源（射频属于交流范畴，频率是13.56MHz